6 - ملك حافظ بن غياث الدين از 730 تا 732 7 - ملك معزّ الدين بن غياث الدين از 732 تا 771 8 - ملك غياث الدين بن معزّ الدين از 771 تا 783 2 - اتابكان فارس فارس را سلاطين سلجوقى بعد از آنكه از تصرّف ديالمه بيرون آوردند بدست حكّامى كه از جانب خود ميفرستادند اداره ميكردند و اين ترتيب قريب هشتاد و پنجسال دوام داشت و در اين فاصله پنج نفر از عهد الب ارسلان تا عهد ملكشاه ثانى يعنى تا تاريخ 543 از طرف سلاجقه بحكومت فارس آمده بودند و اين جماعت كه همه از بندگان و بنده‌زادگان سلاطين سلجوقى بودند بلقب اتابك خوانده ميشدند . از اين حكّام آخرين اتابكى كه از جانب سلاجقه بر فارس حكومت داشته بوزابه است كه اتابك محمّد بن محمود برادرزادهء سلطان مسعود سلجوقى بود و او در سال 541 بر سلطان ياغى شده در همان سال بدست سلطان مسعود در اصفهان بقتل رسيد . بوزابه برادرزاده‌اى داشت باسم سنغر بن مودود كه بكين‌خواهى عمّ خود قيام كرد و پدر او مودود را بوزابه وقتى كه بجنگ سلطان مسعود ميرفت در غياب خود در شيراز گذاشته بود . چون بوزابه بقتل رسيد مودود و سنغر مختفى شدند و در اين موقع محمّد بن محمود سلجوقى بر فارس استيلا داشت در سال 543 سنغر بفارس برگشت و محمّد را از آنجا راند و خود بر آن بلاد تسلّط يافت . فرزندان سنغر را كه اصلا از طوايف تركمان و از نسل شخصى بودند سلغور نام اتابكان فارس يا اتابكان سلغورى ميگويند و ايشان از 543 تا 663 بر فارس حكومت ميكردند و همه وقت از فرماندهان مقتدر ايران يعنى ابتدا از خوارزمشاهيان سپس از مغول و ايلخانان اطاعت داشتند و همين امر يعنى پذيرفتن فرمان سلاطين بزرگ و پرداختن خراج به آنان فارس را مدتى قريب بيك قرن از لشكركشى و بالنّتيجه از خرابى حفظ نمود و اتابكان فارس اگرچه هيچوقت قدرت سلطنتى مهمّى بهم نرساندند